В ходе выполнения 2 этапа проекта по Соглашению о предоставлении субсидии от 17 июня 2014 г. № 14.575.21.0010 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на
- Проверка работоспособности измерительного стенда для проверки параметров маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
- Разработка топологии экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
- Разработка эскизной конструкторской документации маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
- Разработка методики экспериментальных исследований экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
- Разработка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
- Изготовление экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
При этом были получены следующие результаты:
- В ходе выполнения второго этапа ПНИ проведена отработка разработанного стенда, показано что, стенд является работоспособным для проведения измерений параметров маломощных радиационно-стимулированных источников питания, показано что, стенд соответствует требуемым параметрам.
- Были разработаны топологические чертежи в среде LayEdit различных вариантов конструкций кремниевых чипов, с минимальной топологической нормой 4 мкм для пластин диаметром 76 и 100 мм, а также изготовлены фотошаблоны размерами 127×127 мм и 102×102 мм.
- Была разработана эскизная конструкторская документация маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры, состоящая из чертежа общего вида и топологической схемы кристалла маломощного радиационно-стимулированного источника питания, чертежа общего вида маломощного радиационно-стимулированного источника питания и никелевой прокладки.
- Для определения значений основных параметров экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на измерительном стенде были разработаны программа и методика исследований, включающие в себя измерения вольт-амперных характеристик, темнового тока, тока короткого замыкания и напряжения холостого хода.
- Разработан технологический маршрут изготовления экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры. Составлена маршрутная карта изготовления экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
- По разработанным топологическим чертежам и технологическому маршруту на технологической базе ОАО «Оптрон» были изготовлены экспериментальные образцы маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры в количестве 10 штук.
Таким образом, задачи
Сведения о ходе выполнения исследований (проекта) размещены в открытом доступе на официальном сайте НИТУ «МИСиС».
