Разработка основ технологии изготовления линейки лавинных фотодиодов на основе эпитаксиальной структуры P/P+-Si

Ким Александра Сергеевна

Специальность: 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники

Искомая ученая степень:

кандидат технических наук

Место защиты:

НИТУ МИСИС

Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники»: