- Просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM-1400;
- Атомно-силовой микроскоп AIST-NT SmartSPM-1000 с приставкой для СЗМ
- Установка для напыления в ионном облаке JEOL;
- Линия пробоподготовки для ПЭМ на основе установки для ионного травления образцов JEOL Ion Slicer IS-9100;
- Установки для электролитического травления/полировки Struers LectoPol-5 и TenuPol-5 с жидкостным циркуляционным термостатом.