- Просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM-1400.
- Атомно-силовой микроскоп AIST-NT SmartSPM-1000 с приставкой для СЗМ.
- Установка для напыления в ионном облаке JEOL.
- Линия пробоподготовки для ПЭМ на основе установки для ионного травления образцов JEOL Ion Slicer IS-9100.
- Установки для электролитического травления/полировки Struers LectoPol-5 и TenuPol-5 с жидкостным циркуляционным термостатом.